耐热刻痕系统分为皮秒刻痕系统和普通沟槽刻痕系统，皮秒刻痕系统使用脉冲式激光器，每个脉冲的持续时间是皮秒量级，也就是10的负12次方（0.000000000001秒），其优点是：刻痕速度非常快，可耐热，能退火，铁损能明显降低。但缺点是：所需激光源的质量更高，平均功率不足，体积庞大，价格昂贵。普通沟槽刻痕系统激光源价格低廉，但沟槽深度深，表面涂层被破坏，需要再处理。